华中科技大学(武汉光电国家实验室)引进的Vistec电子束光刻系统近日安装验收完成

中国武汉/荷兰贝斯特--(美国商业资讯)--Vistec光刻有限公司今天非常高兴的宣布,位于中国武汉的华中科技大学(武汉光电国家实验室)的Vistec EBPG5000pES系统成功完成安装调试,并且通过验收.中国光电领域的重点实验室武汉光电国家实验室(WNLO),中国**高校华中科技大学(HUST),业界**的电子束光刻设备制造商Vistec视此为共同紧密的战略合作中的一个重要里程碑.

Vistec的EBPG5000pES 电子束光刻系统将进一步增强武汉光电国家实验室(WNLO)在光子学和光电领域的研发实力.”EBPG5000pES系统使我们能够应对所有现今研发中精细光刻的需求.我们确信无论在应用方面还是技术服务方面,都能得到Vistec这一战略合作伙伴的支持.”武汉光电国家实验室,光电子微纳制造工艺平台(OMFC)主任夏金松教授说道.

Vistec EBPG5000pES 系统高度可靠,设计架构经过实际证明是**的电子束光刻工具.系统拥有灵活的光电透镜系统,高亮度的热场发射电子束源,可以稳定的工作在50KeV和100KeV的加速电压,提供了小到2.2nm的束斑尺寸,因此,保障了**小分辨率可以稳定重复的达到小于8nm的结构.同时,系统采用了易用的交互图形化操作界面(GUI),十分简单容易使用在多用途,多用户的学校和科研环境下.

“我们非常高兴和武汉华中科技大学光电国家实验室(WNLO)共同达到合作过程中这一里程碑的时刻,确信Vistec可以帮助华中科技大学光电国家实验室实现更多的成功”,Vistec电子束光刻公司执行总裁Erwin Mueller先生说道.”武汉光电国家实验室的电子束光刻系统是**台在中国境内安装运行的EBPG5000pES系统,我们相信今后Vistec的业务在中国范围内会有越来越多的稳定增长.”

媒体信息：

武汉光电国家实验室

武汉光电国家实验室(WNLO)是科技部于2003年11月批准筹建的五个国家实验室之一。于2006年11月批准正式建设.由教育部、湖北省和武汉市共建，其依托单位是华中科技大学，另有三个组建单位：武汉邮电科学研究院、中国科学院武汉物理与数学研究所.更多详细信息请查阅网站 http://www.wnlo.cn/

华中科技大学是国家教育部直属的全国重点大学，由原华中理工大学、同济医科大学、武汉城市建设学院于2000年5月26日合并成立，是首批列入国家“211工程”重点建设和国家“985工程”建设高校之一。

按照“应用**、基础突破、协调发展”的科技发展方略，构建起了覆盖基础研究层、高新技术研究层、技术开发层三个层次的科技创新体系。建设有武汉光电国家实验室、脉冲强磁场实验装置等国家重大科技基础设施，还拥有5个国家重点实验室、1个国防重点实验室、6个国家工程（技术）研究中心、1个国家工程实验室及一批省部级研究基地。

http://english.hust.edu.cn/about.html

Vistec电子束光刻集团

Vistec电子束光刻集团是一家生产制造和供应电子束光刻系统的国际公司.应用于包括纳米科技,生物纳米科技,微电子,光电子研发到工业用掩膜板制造和电子束硅片直写等领域.Vistec电子束光刻集团包括Vistec光刻公司(Vistec Lithography)和Vistec电子束公司(Vistec Electron Beam).

Vistec光刻公司

Vistec光刻公司研发,生产和销售高斯束技术的电子束光刻系统.Vistec的高斯束电子束光刻系统在全**范围内广泛的服务于各大研究所,实验室和大学.

Vistec电子束公司

Vistec电子束公司提供基于变形束技术的电子束光刻机,****的半导体公司和许多研究所都在使用.Vistec的创新电子束系统适用于芯片制造,集成光器件,同时也包括科学和商用产品的开发应用.

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